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光伏行業(yè)的“質(zhì)檢官”:同創(chuàng)四探針儀如何把好硅片質(zhì)量關(guān)?

  • 監(jiān)控重點:體電阻率?(ρ)?與導(dǎo)電類型
  • 同創(chuàng)方案:
    • 使用四探針測試儀對原生硅錠的頭部、尾部進行抽樣測量,快速判斷其摻雜均勻性,為后續(xù)切片工藝提供數(shù)據(jù)依據(jù)。
    • 對入場硅片襯底進行快速篩查,確保其電阻率符合工藝窗口要求,避免不合格原材料流入產(chǎn)線。
  • 價值:從源頭杜絕批量性質(zhì)量事故,為高效電池制造奠定堅實的材料基礎(chǔ)。
  1. 在線/離線測試:對擴散后的硅片進行精確的點測量,獲取其平均方塊電阻值。該值直接反映擴散層的摻雜濃度,是實時調(diào)整工藝氣體、溫度和時間的核心依據(jù)。
  2. 面掃描分析?(Mapping):這是評估工藝均勻性的“終極武器”。同創(chuàng)儀器的自動平臺可對整片硅片進行矩陣式測量,生成直觀的方塊電阻分布云圖
  • 均勻的色塊:表明擴散爐管內(nèi)氣流、溫度均勻,工藝理想。
  • 邊緣高/中心低(或反之):可能意味著爐管內(nèi)溫度不均或氣流分布存在問題。
  • 特定條紋或斑點:可能由石英舟污染或工藝氣體污染導(dǎo)致。
  • 監(jiān)控重點:漿料線電阻、固化/燒結(jié)后膜層的方塊電阻
  • 同創(chuàng)方案:利用四探針法精確測量印刷在玻璃或硅片上的漿料固化后的導(dǎo)電性能,為漿料配方研發(fā)、供應(yīng)商選擇和印刷工藝優(yōu)化提供定量依據(jù)。
  • 價值:確保電極具備優(yōu)異的導(dǎo)電性,從而最小化功率損失。
  • 卓越的穩(wěn)定性與重復(fù)性:保證在車間環(huán)境下,7x24小時連續(xù)運行仍能輸出可靠數(shù)據(jù),滿足SPC(統(tǒng)計過程控制)的嚴格要求。
  • 高效的自動化與智能化:
    • 可輕松集成機械手,實現(xiàn)全自動上下料與測試。
    • 軟件自動生成統(tǒng)計報表、趨勢圖及Mapping云圖,無縫對接工廠MES系統(tǒng),實現(xiàn)數(shù)據(jù)流全打通。
  • 專業(yè)的行業(yè)應(yīng)用支持:我們的應(yīng)用工程師團隊深諳光伏工藝,能為您提供從測點選擇、修正因子計算到數(shù)據(jù)解讀的全套解決方案,幫助您將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為切實的工藝改進。
  • 蘇州同創(chuàng)電子有限公司
  • 電話:133 8218 2805
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